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Sol-Gel法制备Ba1-xSrxTiO3薄膜的光学性质研究
引用本文:阳生红,张曰理,莫党.Sol-Gel法制备Ba1-xSrxTiO3薄膜的光学性质研究[J].中山大学学报(自然科学版),2006,45(1):29-32.
作者姓名:阳生红  张曰理  莫党
作者单位:中山大学光电材料与技术国家重点实验室∥物理学系,广东,广州,510275
基金项目:中国科学院资助项目;广东省科技计划
摘    要:采用SOL-GEL工艺,在S I(100)衬底上制备了BA1-XSRXTIO3(0.1≤X≤0.3)多晶薄膜,并用椭偏光谱仪在光子能量为2.0~5.2 EV的范围内,测量了不同SR含量X下BA1-XSRXTIO3多晶薄膜的椭偏光谱。建立适当的拟合模型,用最优化法获得了所有样品的光学常数(折射率N和消光系数K)谱及能隙宽度EG。比较这些结果发现:在低能区,BA1-XSRXTIO3薄膜的折射率N随SR含量X的增加无明显变化,但其吸收边向高能方向移动。表明BA离子被SR离子取代后,BA1-XSRXTIO3薄膜的能隙宽度EG增大。

关 键 词:椭偏光谱  光学常数谱  Sol-Gel工艺  BST薄膜
文章编号:0529-6579(2006)01-0029-04
收稿时间:2005-04-15
修稿时间:2005年4月15日

Optical Properties of Ba1-xSrxTiO3 Thin Films Prepared by Sol-Gel Method
YANG Sheng-hong,ZHANG Yue-li,MO Dang.Optical Properties of Ba1-xSrxTiO3 Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni,2006,45(1):29-32.
Authors:YANG Sheng-hong  ZHANG Yue-li  MO Dang
Institution:The State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies//Department of Physics, Sun Yat-sen University, Guangzhou 510275, China
Abstract:
Keywords:spectroscopic ellipsometry  optical constants spectra  Sol-Gel processing  BST film
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