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钴、锰掺杂氧化锌薄膜的制备和特性研究
引用本文:刘艳美,李俊,宋学萍,李爱侠,韩家骅,周圣明.钴、锰掺杂氧化锌薄膜的制备和特性研究[J].安徽大学学报(自然科学版),2004,28(4):38-42.
作者姓名:刘艳美  李俊  宋学萍  李爱侠  韩家骅  周圣明
作者单位:安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039;安徽大学,物理系,安徽,合肥,230039
基金项目:安徽省科技厅科研项目,安徽省省级重点学科建设基金
摘    要:在200~500℃的衬底温度范围内,用电子束蒸镀法在Si衬底上制备了沿002]取向的Zn0.80Co0.15Mn0.05O薄膜。这些薄膜都具有室温铁磁性,薄膜磁性随衬底温度的增大,在400℃出现极大值。X射线分析则表明,除200℃制备的薄膜结晶和取向较差外,其它温度的薄膜都沿C轴高度取向,(002)面间距和衍射峰半高宽(FWHM)接近相等。讨论了衬底温度对薄膜晶体结构和磁性的影响。

关 键 词:Zn0.80Co0.15Mn0.05O薄膜  室温磁性  衬底温度  电子束蒸镀
文章编号:1000-2162(2004)04-0038-05

Study of preparation and properties of Zn0.80Co0.15Mn0.05O thin films
Abstract:Zn_(0.800Co_(0.150Mn_(0.050O thin films prepared by method of e-beam evaporation on Si substrate at 200~500℃for substrate temperatures(Ts) are characterized using x-ray diffraction method, which shows all these films orientating well along \ except the film prepared at 200℃ and having similar crystal parameters. All these films having ferromagnetism at room temperature are found.Saturated and renament magnetization of the film grown at 400℃ is larger than one at other temperatures.The effect of Ts on crystal structures and magnetization of the films are discussed.
Keywords:Zn_(0  80)Co_(0  15)Mn_(0  05)O film  room temperature magnetism  substrate temperature  e-beam evaporation
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