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| 利用灰度掩膜光刻技术制备螺旋相位片 | |
| 作者姓名： | 周静 阳泽建 高福华 杜惊雷 |
| 作者单位： | 四川大学物理科学与技术学院,,, |
| 摘 要： | 螺旋相位片(Spiral phase plate简称SPP)是产生轨道角动量光束的一种重要光学器件,在光束调控、量子信息等领域有着重要应用.本文提出了一种基于计算机打印灰度掩膜的螺旋相位片的加工方法,详细讨论了SPP设计方法和光刻工艺,并实验制作了拓扑电荷为3的螺旋相位片,利用马赫-策德尔干涉仪实验对SPP产生涡旋光束进行了检测,获得良好的螺旋相位干涉图.本文的研究结果为低成本、高质量、高效率的螺旋相位片加工技术提供了一种有用途径. |
| 关 键 词： | 涡旋光束 螺旋相位片 轨道角动量 灰度掩膜光刻 |
| 收稿时间： | 2015-10-26 |
| 修稿时间： | 2015-12-02 |
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