半导体薄膜电阻的测量技术研究

电阻率是描述半导体材料性能的重要参数之一，四探针技术是测量半导体材料电阻率的主要手段。本文对四探针技术测量半导体薄层电阻的重要性进行了分析，结合常用的四探针测量技术探讨半导体电阻率的测量方法，重点讨论直线四探针技术和矩形四探针技术，对比了常用的几种四探针技术的优劣。