| 零偏压下近红外集成单波长波导光探测器 |
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| 引用本文： | 高松,牛慧娟,李真,范鑫烨,段晓峰,黄永清.零偏压下近红外集成单波长波导光探测器[J].聊城大学学报(自然科学版),2023(5):49-55. |
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| 作者姓名： | 高松 牛慧娟 李真 范鑫烨 段晓峰 黄永清 |
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| 作者单位： | 1. 聊城大学物理科学与信息工程学院;2. 聊城大学山东省光通信科学与技术重点实验室;3. 北京邮电大学信息光子学与光通信重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(2018YFB2200803)；;山东省自然科学基金项目(ZR2022MF305,ZR2022MF253,ZR2021MF053,ZR2021MF070)；;教育部产学协同育人项目(220605160271242,221002802140950,220906093200103)资助； |
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| 摘 要： | 提出了一种基于InGaAsP材料的零偏压单片集成波导光探测器。该器件单片集成了光子晶体(Photonic Crystals, PC)滤波器、锥形耦合器、零偏压波导光探测器(Wave-Guide Photodetector, WGPD)以及直波导，形成了一个平面微纳光信号接收子系统。集成的波导光探测器吸收峰值波长位于1.55μm处，光谱线宽仅1.6 nm。设计的波导光探测器在无外加偏压时具有良好性能，经优化，当其面积为4μm×15μm时其3 dB带宽达78 GHz@0 V,响应度为0.78 A/W。整个器件基于组分可调的InGaAsP材料，实现多功能器件的单片集成，具有高性能、小体积、低功耗、窄线宽等特性。
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| 关 键 词： | 单片集成 光子晶体滤波器 锥形耦合器 波导光探测器 零偏压 |
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