| 微机械平面螺旋电感的Q值分析与结构优化 |
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| 引用本文： | 丁勇,刘泽文,刘理天,李志坚.微机械平面螺旋电感的Q值分析与结构优化[J].清华大学学报(自然科学版),2001,41(7):106-109. |
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| 作者姓名： | 丁勇 刘泽文 刘理天 李志坚 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所, |
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| 基金项目： | 国家“九七三”重点基础研究发展项目 (G19990 3 3 10 5 ) |
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| 摘 要： | 为优化微机械平面螺旋电感 ,提出了一种计算品质因数 (Q值 )的方法。通过系统分析影响平面螺旋电感 Q值的主要因素 ,获得硅微机械电感的简化模型 ,在此基础上采用电磁分析法讨论了射频条件下高频电磁场效应对电感寄生电阻的影响 ,从而得到了计算平面螺旋电感 Q值的方法。利用此方法对几何参数不同的几种线圈进行分析 ,获得了具有较高 Q值电感的优化结构。在 2 GHz的工作频率下 ,优化的平面螺旋结构线圈导线宽度和厚度分别为 10μm和5μm
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| 关 键 词： | 微机械 电感 Q值 射频 硅 |
| 文章编号： | 1000-0054（2001）07-0106-04 |
| 修稿时间： | 2000年10月16 |
Q value for structural optimization of micromachined planar spiral inductor |
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| DING Yong,LIU Zewen,LIU Litian,LI Zhijian.Q value for structural optimization of micromachined planar spiral inductor[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2001,41(7):106-109. |
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| Authors: | DING Yong LIU Zewen LIU Litian LI Zhijian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micromachine inductor Q value radio frequency (RF) silicon |
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