|
|||||
|
|
| 硅集成微型泵系统的优化设计和兼容工艺研究 | |
| 引用本文： | 清华大学学报.硅集成微型泵系统的优化设计和兼容工艺研究[J].清华大学学报(自然科学版),1999,39(Z1):1. |
| 作者姓名： | 清华大学学报 |
| 作者单位： | ：庞江涛，刘理天，李志坚 清华大学 微电子学研究所，北京 100084 |
| 摘 要： | |
| 修稿时间： | 1998-09-22 |
Optimization and process compatibility of silicon integrated micropump system |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |