| 半导体芯片制造混合调度方法 |
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| 引用本文： | 胡鸿韬,江志斌,陈侃.半导体芯片制造混合调度方法[J].上海交通大学学报,2009,43(3). |
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| 作者姓名： | 胡鸿韬 江志斌 陈侃 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,机械与动力工程学院,上海,200240
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 针对半导体制造系统设备性能的多样性、多产品混合加工以及可重入性等特点,采用遗传算法和动态调度规则结合的方法优化生产过程.首先,通过遗传算法优化工件加工路径;然后,通过动态控制策略确定工件加工顺序.最后,进行仿真实验,比较了不同动态调度规则和遗传算法混合使用的效果.结果表明,通过遗传算法能够得到较优化的结果.
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| 关 键 词： | 遗传算法 动态调度规则 半导体芯片制造系统 |
Composite Scheduling Method in Semiconductor Wafer Fabrication |
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| HU Hong-tao,JIANG Zhi-bin,CHEN Kan.Composite Scheduling Method in Semiconductor Wafer Fabrication[J].Journal of Shanghai Jiaotong University,2009,43(3). |
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| Authors: | HU Hong-tao JIANG Zhi-bin CHEN Kan |
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