用开放式谐振腔测量金属表面的介质涂层厚度

同心圆环电容器构成的平面探头产生的辐射电场对介质有穿透能力，由于介质的极化，使探头的电容随介质的厚度发生变化。为增大两者间的依从关系并测出介质厚度。利用探头和金属板组成的开放式谐振腔来测量金属表面介质涂层厚度，从而提供了测量介质厚度的新途径。