MEMS微悬臂梁在冲击环境下的可靠性 |
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引用本文: | 吕劲楠,唐洁影.MEMS微悬臂梁在冲击环境下的可靠性[J].科技通讯(上海),2008,14(1):103-106. |
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作者姓名: | 吕劲楠 唐洁影 |
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作者单位: | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096 |
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摘 要: | 由于MEMS器件的可靠性成为MEMS产品商业化过程中一个重要问题,而冲击断裂是导致器件失效的一个重要原因。本文主要研究多晶硅微悬臂梁在冲击条件下的可靠性,文中阐述了断裂失效机理,并使用应力-强度模型对可靠度进行建模。通过实验统计在各种加速度冲击下的可靠度,并将实验实测值与理论值进行对比。
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关 键 词: | MEMS 冲击失效 可靠度 |
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