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| GaAS-Ga_(1-x)Al_xAS双异质结激光器欧姆接触的研究 | |
| 引用本文： | 北京大学物理系激光一组.GaAS-Ga_(1-x)Al_xAS双异质结激光器欧姆接触的研究[J].清华大学学报(自然科学版),1975(4). |
| 作者姓名： | 北京大学物理系激光一组 |
| 摘 要： | 我们用正交表研究ＧａＡｓ的欧姆接触工艺．实验结果表明， ｐ－ＧａＡｓ用 Ａｕ—Ｃｒ 金、ｎ－ＧａＡｓ用 Ａｇ—Ｓｎ合金的欧姆接触工艺．比接触电阻率 Ｒｃ＜１０－４（欧姆）（厘 米）３应用于 ＧａＡｓ—Ｇａ１－ｘＡｌｘＡｓ双异质结激光器．得到良好的效果。 |
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