| 基于DVD光学读取头的大量程高精度扫描探头 |
| |
| 引用本文： | 李瑞君,钱剑钊,龚伟,黄强先.基于DVD光学读取头的大量程高精度扫描探头[J].合肥工业大学学报(自然科学版),2011,34(12):1761-1763,1835. |
| |
| 作者姓名： | 李瑞君 钱剑钊 龚伟 黄强先 |
| |
| 作者单位： | 1. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009;安徽电气工程职业技术学院自动化与信息工程系,安徽合肥230051
2. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥,230009 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目，安徽省教育厅高等学校优秀青年人才基金 |
| |
| 摘 要： | DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头,但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足.文章研究发现,DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径(NA)值对扫描探头的感测范围有显著影响；去掉DVD光学读取头中的音圈电机,避免其迟滞特性的影响,可获得较高的精度；更换数值孔径值为0.16的聚焦透镜可增大线性感测范围....
|
| 关 键 词： | DVD光学读取头 扫描探头 聚焦透镜 数值孔径 量程 |
Long-range and high-accuracy scanning probe based on a DVD pick-up head |
| |
| LI Rui-jun,QIAN Jian-zhao,GONG Wei,HUANG Qiang-xian.Long-range and high-accuracy scanning probe based on a DVD pick-up head[J].Journal of Hefei University of Technology(Natural Science),2011,34(12):1761-1763,1835. |
| |
| Authors: | LI Rui-jun QIAN Jian-zhao GONG Wei HUANG Qiang-xian |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
