| 基于提高MEMS器件光取出率的环形光子晶体结构设计 |
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| 引用本文： | 王旭,张浩,周勋.基于提高MEMS器件光取出率的环形光子晶体结构设计[J].贵州科学,2016(5):80-83. |
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| 作者姓名： | 王旭 张浩 周勋 |
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| 作者单位： | 贵州大学,贵州贵阳,550025 |
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| 摘 要： | 光子晶体在通信、激光以及光子集成等方面有着广泛的应用前景。然而,由于传统圆形光子晶体微腔是一种形成偏振的结构,不能高效兼顾TE和TM电磁波,使其应用受到了限制。微机电系统MEMS由于其微小尺寸的限制,较难提高涉及到光学器件的光取出率。因此我们将光子晶体和光学微机电系统器件相结合,运用FDTD的方法,设计了一种无偏振环形光子晶体的结构,能够兼顾TE和TM电磁波,提高器件光取出率。经过结构优化,当环形光子晶体的周期在a=560 nm、内半径r=249 nm、外半径R=271 nm以及厚度d=410 nm时,发现在波长1 310 nm处存在光子禁带。成功实现了光子晶体表面在低损通信信道的共振,从理论上扩展了光学MEMS器件的应用范围。
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| 关 键 词： | MEMS 环形光子晶体 FDTD 光子禁带 |
Design of an annular photonic crystal structure to enhance light extraction efficiency in MEMS devices |
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