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| Al_2O_3膜钝化晶体管的快中子辐照效应 | |
| 引用本文： | 唐方元 ,丁大沛 ,林理彬 ,周永.Al_2O_3膜钝化晶体管的快中子辐照效应[J].四川大学学报(自然科学版),1989(1). |
| 作者姓名： | 唐方元 丁大沛 林理彬 周永 |
| 摘 要： | 由于Al_2O_3钝化膜具有密度大,对Na~ 离子的阻挡能力强,介电常数约为SiO_2的二倍等优点,因此,我们采用直流反应溅射法对3CK和3CG型小功率管进行了Al_2O_3膜的钝化处理,将钝化了的和未钝化的晶体管进行高能电子,快中子辐照.电子辐照结果表明:钝化晶体管比未钝化晶体管抗辐射能力提高了近半个数量级. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |