| 基片温度对Cu—TiC复合薄膜的影响 |
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| 引用本文： | 李戈扬 王岱峰. 基片温度对Cu—TiC复合薄膜的影响[J]. 上海交通大学学报, 1997, 31(4): 44-48 |
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| 作者姓名： | 李戈扬 王岱峰 |
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| 作者单位： | 金属基复合材料国家重点实验室中国科学院，上海硅酸盐研究所 |
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| 摘 要： | 研究了基片温度对Ｃｕ－ＴｉＣ复合薄膜的影响。Ｃｕ－ＴｉＣ复合薄膜采用多靶磁控溅射仪制备。测定了薄膜的显微硬度及电阻率，并利用ＸＲＤ，ＳＥＭ，ＥＤＡＸ和ＴＥＭ研究了薄膜结构。结果表明，随基片温度的提高，Ｃｕ－ＴｉＣ复合薄膜中ＴｉＣ含量增加，Ｃｕ和ＴｉＣ的晶化逐步完善。
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| 关 键 词： | 复合薄膜 磁控溅射 薄膜 铜 碳化钛 基片温度 |
Effect of Substrate Temperature on Cu TiC Composite Films |
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| Li Geyang Wang Daifeng Wang Gongyao Wu Liang Li Pengxing. Effect of Substrate Temperature on Cu TiC Composite Films[J]. Journal of Shanghai Jiaotong University, 1997, 31(4): 44-48 |
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| Authors: | Li Geyang Wang Daifeng Wang Gongyao Wu Liang Li Pengxing |
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| Affiliation: | The State Key Lab for MMCs |
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| Keywords: | Cu TiC composite film magnetron sputtering temperature |
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