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国内半导体设备发展综述
引用本文:李弯弯.国内半导体设备发展综述[J].广东科技,2018(7).
作者姓名:李弯弯
摘    要:正2018年5月22日,国内半导体设备龙头企业北方华创发布公告,公司及其全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司获得国家科技重大专项地方政府配套资金2.0978亿元。北方华创是半导体国产设备龙头供应商,已先后完成12英寸集成电路制造设备90—28nm等多个关键制程的攻关。随着近年来全球半导体产业逐步向中国市场转移,中国半导体市场需求目前已成为全球半导体行业增长的主要动力。2017年,全球

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