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| 电镀金刚石——镍复合膜沉积率研究 | |
| 作者姓名： | 韩长玉 海滢滢 许觅婷 张兰 马会中 |
| 作者单位： | 郑州大学工程力学系; |
| 摘 要： | <正>随着电子行业的迅速发展,由于陶瓷、半导体材料、水晶、玻璃等材料的切割和开槽等高精度微加工技术日益增多,因此,要求用于这种加工的切割工具必须具有高硬度,磨削效率高,形状误差小且容易保持,高化学惰 |
| 关 键 词： | 微粒共沉积 沉积率 电镀金刚石 复合膜 阴极电流密度 沉积速率 膜生长速率 镍复合镀层 金刚石浓度 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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