电镀金刚石——镍复合膜沉积率研究 |
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引用本文: | 韩长玉,海滢滢,许觅婷,张兰,马会中.电镀金刚石——镍复合膜沉积率研究[J].河南科技,2009(7):56-57. |
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作者姓名: | 韩长玉 海滢滢 许觅婷 张兰 马会中 |
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作者单位: | 郑州大学工程力学系; |
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摘 要: | <正>随着电子行业的迅速发展,由于陶瓷、半导体材料、水晶、玻璃等材料的切割和开槽等高精度微加工技术日益增多,因此,要求用于这种加工的切割工具必须具有高硬度,磨削效率高,形状误差小且容易保持,高化学惰
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关 键 词: | 微粒共沉积 沉积率 电镀金刚石 复合膜 阴极电流密度 沉积速率 膜生长速率 镍复合镀层 金刚石浓度 |
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