| 用于红外焦平面的微透镜阵列单片制备技术 |
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| 引用本文： | 麦志洪,易新建,赵兴荣,郝建华. 用于红外焦平面的微透镜阵列单片制备技术[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1996, 0(7) |
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| 作者姓名： | 麦志洪 易新建 赵兴荣 郝建华 |
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| 作者单位： | 华中理工大学光电子工程系 |
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| 摘 要： | ![]()
提出了离子束刻蚀制备微透镜阵列的工艺原理；研究了球面型光致抗蚀剂掩膜的形成过程以及硅微透镜离子束刻蚀的实验条件．表面探针测量及扫描电子显微镜（ＳＥＭ）实验证明了该技术可在较低的衬底温度下（低于２００℃）有效地制备出球面型微透镜，并用表面探针测量确定了硅微透镜的尺寸．
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| 关 键 词： | 红外焦平面；硅微透镜阵列；单片式 |
The Monolithic Preparation for an IRFPA Microlens Array |
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| Mai Zhihong, Yi Xinjian, Zhao Xingrong, Hao Jianhua. The Monolithic Preparation for an IRFPA Microlens Array[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1996, 0(7) |
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| Authors: | Mai Zhihong Yi Xinjian Zhao Xingrong Hao Jianhua |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | IRFPA microlens array monolithic |
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