CVD反应器内基座倾斜时流场的有限分析方法数值计算

本文用有限分析方法，对带有倾斜基座的ＣＶＤ反应器内流场进行了数值计算，结果表明，有限分析方法对于小倾解角的非矩形边界的解域也是适用的。