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| 基于析取图的集束型设备建模与调度方法 | |
| 作者姓名： | 高忠顺 周炳海 |
| 作者单位： | (同济大学 机械与能源工程学院,上海 201804) |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 针对处理腔带有缓冲且能处理不同种类晶圆产品的单臂集束型设备调度问题,提出了基于析取图模型的分枝搜索调度方法.首先将问题转换为单机调度问题,建立析取图模型,采用分枝的方法获得可行解空间.然后在此基础上,提出以最小完工时间的机械手最优动作序列为目标的分枝搜索算法.最后对调度算法进行了仿真实验分析.结果表明,该算法有效可行,同时说明了处理腔带输入、输出缓冲的集束型设备对于满足不同种类晶圆的生产、提高生产能力均具有较好的效果. |
| 关 键 词： | 集束型设备 缓冲 调度 析取图 分枝搜索 |
| 收稿时间： | 2012-11-28 |
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