| 不同硫化温度下铜锌锡硫薄膜的微观组织结构表征 |
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| 引用本文： | 赵新奇,范亮亮,韩俊峰,明文全,杨修波,李石勇,洪悦,茶丽梅. 不同硫化温度下铜锌锡硫薄膜的微观组织结构表征[J]. 湖南大学学报(自然科学版), 2019, 46(12): 85-89 |
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| 作者姓名： | 赵新奇 范亮亮 韩俊峰 明文全 杨修波 李石勇 洪悦 茶丽梅 |
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| 作者单位： | 湖南大学材料科学与工程学院,湖南长沙,410082;北京理工大学物理学院,北京,100081;西北工业大学分析测试中心,陕西西安,710072;湖南大学材料科学与工程学院,湖南长沙410082;广东以色列理工学院,广东汕头 515063 |
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| 摘 要： | 在覆盖Mo层的钠钙玻璃上采用磁控溅射沉积后续硫化处理方式制备铜锌锡硫(CZTS)薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、高角环形暗场像和X射线能谱仪等表征技术,研究不同硫化温度下CZTS薄膜形成过程中微观组织结构的变化.结果表明:硫化温度升高到400℃以上形成CZTS四元结晶相组成的薄膜,在400～550℃之间,随硫化温度的升高CZTS相增多且尺寸增大,600℃硫化时,CZTS相出现分解现象.硫化温度对薄膜影响显著,近钼层颗粒尺寸较小,表层颗粒尺寸较大.温度较低时薄膜的表层中Cu和S富集形成CuS,近钼层中Zn和Sn含量较多.随着温度升高,Cu、Zn、Sn和S不断扩散,分布更加均匀,形成的CZTS相结晶性愈好,晶粒不断长大成等轴晶,且CZTS晶粒出现孪晶.
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| 关 键 词： | Cu2ZnSnS4薄膜 硫化 微观组织结构 电子显微镜 孪晶 |
Microstructure Characterization of Cu2ZnSnS4 Thin Films Fabricated by Sulfurization at Different Temperatures |
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