|
|||||
|
|
| 直拉单晶炉中碳氧含量的研究 | |
| 引用本文： | 张东.直拉单晶炉中碳氧含量的研究[J].科技信息,2011(30):17-17. |
| 作者姓名： | 张东 |
| 作者单位： | 乐山职业技术学院; |
| 基金项目： | 乐山职业技术学院教改课题“基于工作过程的晶体硅生产技术职业能力项目设计与评价方法”,项目编号:JG2011006 |
| 摘 要： | 晶体硅中的杂质会显著的影响各种硅基器件的性能,本文分析了直拉单晶炉中碳、氧杂质的引入机制,研究了减少碳、氧杂质的措施,并且做了相应的分析。 |
| 关 键 词： | 单晶硅 直拉法生长 氧杂质 碳杂质 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |