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亚微米级多孔绝热膜的纵向热导率的测试
引用本文:康青,张良莹.亚微米级多孔绝热膜的纵向热导率的测试[J].西安交通大学学报,1995,29(9):78-83.
作者姓名:康青  张良莹
作者单位:电子与信息工程学院
基金项目:国家“863”高技术新材料研究计划资助项目.
摘    要:提出了采用调制热源,热沉边界条件下的超低频薄膜纵向热导率测试方法,结构金属薄膜的弱温度探测,使薄膜厚度方向的热导率测试进入到了亚微米量级。室温下热导率采用了线性拟合外推法求得。实测的多孔SiO2薄膜热导率比致密的块休材料低了3个量级,为0.001W/m.K。

关 键 词:热导率  薄膜  多孔二氧化硅  亚微米级  绝热膜

THE MEASUREMENT OF LONGITUDINAL THERMAL CONDUCTIVITY OF SUB-MICROMETER POROUS THERMAL INSULATION FILMS
Kang Qing,Zhang Laingying,Yao Xi.THE MEASUREMENT OF LONGITUDINAL THERMAL CONDUCTIVITY OF SUB-MICROMETER POROUS THERMAL INSULATION FILMS[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,1995,29(9):78-83.
Authors:Kang Qing  Zhang Laingying  Yao Xi
Institution:School of Electronics and Information Engineering
Abstract:
Keywords:thermal conductivity  porous silica thin film  Pt thin film
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