| 镧钛酸铅铁电薄膜的快速热处理研究 |
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| 引用本文： | 吴小清,任巍.镧钛酸铅铁电薄膜的快速热处理研究[J].西安交通大学学报,1995,29(9):36-43. |
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| 作者姓名： | 吴小清 任巍 |
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| 作者单位： | 电子与信息工程学院 |
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| 基金项目： | 国家“863”高技术新材料研究计划资助项目． |
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| 摘 要： | 以不同热处理温度和保温时间的组合条件，对在不同种基片上制备的镧钛酸铅薄膜进行了快速热处理，主要研究了快速热处理工艺对薄膜相结构、化学组成、形貌的影响，并给出了典型样品的介电和铁电性能。实验结果表明：在较宽的热处理温度和保温时间薄内，都可得到无裂纹、均匀致密、晶粒大小约２０ｎｍ的纯钙钛矿结构薄膜；不同的基片对薄膜的结晶有不同的影响；铂电极有利于薄膜结晶。在７００℃保温６０ｓ的样品，１ｋＨｚ时介电常数
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| 关 键 词： | 热处理 铁电薄膜 钙钛矿结构 镧钛酸铅 |
RAPID THERMAL ANNEALING OF LEAD LANTHANUM TITANATE FERROELECTRIC THIN FILMS |
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| Wu Xiaoqing,Ren Wei,Liu Yun,Zhang Liangying,Yao Xi.RAPID THERMAL ANNEALING OF LEAD LANTHANUM TITANATE FERROELECTRIC THIN FILMS[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,1995,29(9):36-43. |
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| Authors: | Wu Xiaoqing Ren Wei Liu Yun Zhang Liangying Yao Xi |
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| Institution: | School of Electronics and Information Engineering |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | rapid thermal annealing ferroelectric thin films perovskite structure |
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