用“三步扩散法”实现PN结隔离工艺的研究 |
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引用本文: | 李观启,骆桂良,曾勇彪,廖亦水,曾绍洪.用“三步扩散法”实现PN结隔离工艺的研究[J].华南理工大学学报(自然科学版),1983(4). |
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作者姓名: | 李观启 骆桂良 曾勇彪 廖亦水 曾绍洪 |
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摘 要: | 本文对常规PN结隔离工艺提出了一种简单易行的改革方案。其主要特点是采用“三步扩散法”实现硼隔离扩散,减薄了掩蔽硼隔离扩散所需的二氧化砖层厚度,从而缩短了高温热处理时间和生产周期,并有利于光刻质量的提高;采用本方案,还可以减薄外延层厚度,从而提高集成度、减少隔离寄生电容和集成晶体管集电区的体电阻,以利于电路性能的提高。
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