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21世纪的先导技术微电子技术
引用本文:
陈同来.21世纪的先导技术微电子技术[J].华东科技,2007(6):85.
作者姓名:
陈同来
作者单位:
中国科学院上海硅酸盐研究所
摘 要:
微电子技术是近半个世纪以来得到迅猛发展的一门高科技应用性学科,是信息产业的先导和基石,被誉为现代电子工业的心脏和高科技的原动力.微电子技术的强大生命力在于它可以低成本、大批量地生产出具有高可靠性和高精度的微电子结构模块.……
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