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| 等离子体辅助原子层沉积过渡金属及其碳化物 | |
| 作者姓名： | 国政 王新炜 |
| 摘 要： | 过渡金属及其碳化物薄膜现已广泛应用于微电子、能源及催化等领域.等离子体辅助原子层沉积能够产生高活性的反应粒子,具有沉积温度低、反应充分等特点,能在复杂3D结构基底上制备连续、保形的高质量过渡金属及其碳化物薄膜.本文首先介绍了等离子体辅助原子层沉积技术的基本原理,然后综述了当前等离子体辅助原子层沉积制备金属及其碳化物的研... |
| 关 键 词： | 原子层沉积 等离子体辅助 薄膜 过渡金属 碳化物 |
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