| 溶胶-凝胶旋涂法制备Al掺杂ZnO薄膜及其光电性能的研究 |
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| 引用本文： | 王玉新,赵帅,刘国强,王磊,李真,陈苗苗.溶胶-凝胶旋涂法制备Al掺杂ZnO薄膜及其光电性能的研究[J].辽宁师范大学学报(自然科学版),2019(2). |
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| 作者姓名： | 王玉新 赵帅 刘国强 王磊 李真 陈苗苗 |
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| 作者单位： | 辽宁师范大学物理与电子技术学院 |
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| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶(sol-gel)旋涂法制备不同Al掺杂量的ZnO薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和光致发光谱(PL)等测试手段对Al掺杂ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌及光电性能进行表征.结果表明:所制备的样品均沿(002)方向择优生长,无其他杂相的出现.随着Al掺杂量的增加,薄膜的晶粒尺寸先减小后增大,当Al掺杂量为0.020时晶粒尺寸最小,其表面晶粒最为均匀、致密;近紫外发光峰的强度先增强后减弱,并且出现了轻微蓝移的现象;薄膜的电阻值先减小后轻微增大.当Al元素的掺杂量为0.015时,薄膜表面相对均匀致密,禁带宽度有所增加,可见光范围内平均透过率最高达到90%,并且具有较好的导电性能.
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