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光电位置传感器及光电位置测量

作者姓名：	袁峰丁振良蒋作民强锡富谭定忠

摘要：	对目前已研制出的多种光电位敏元件及位置测量方法进行了系统的归纳分类，并结合作者本人的研究工作，对这些方法进行了综合评述．
关键词：	光电位置传感器光电位置测量位敏元件位置测量定位
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