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| 粉末溅射SnO2:Pt薄膜及SnO2/SnO2:Pt薄膜电导在CO中的振荡现象 | |
| 作者姓名： | 刘文利 李蕾 高建华 |
| 作者单位： | 山东工业大学,数理系,山东,济南,250014;山东工业大学,数理系,山东,济南,250014;山东工业大学,数理系,山东,济南,250014 |
| 摘 要： | 采用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2 :Pt薄膜和SnO2 /SnO2 :Pt双层膜 .这两种薄膜材料不仅对CO气体有很高的灵敏度 ,良好的选择性和较低的工作温度 ,而且其电导在CO气体中均出现了振荡现象 .本文分析了电导振荡温区、振幅和频率与CO气体浓度及膜厚的关系 ,介绍了其振荡特性并对有关问题进行了讨论 |
| 关 键 词： | 气敏器件 粉末溅射 薄膜 振荡 |
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