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| 粉末溅射SnO2:Pt薄膜和SnO2/SnO2:Pt双层膜的气敏特性 | |
| 作者姓名： | 刘文利 高建华 李蕾 |
| 作者单位： | 山东工业大学数理系,山东,济南,250014;山东工业大学数理系,山东,济南,250014;山东工业大学数理系,山东,济南,250014 |
| 摘 要： | 用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2 :Pt薄膜和表面层掺杂SnO2 /SnO2 :Pt双层膜 .实验结果表明 ,由室温至 2 0 0℃ ,这两种薄膜对CO气体均显示了较高的灵敏度和选择性 .单层膜厚度和双层膜导电层及气敏层厚度对灵敏度有明显的影响 .通过对掺杂单层膜和双层膜气敏特性的比较 ,对粉末溅射SnO2薄膜的气敏响应机理进行了探讨 . |
| 关 键 词： | 气敏器件 薄膜 半导体膜 粉末溅射 |
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