| YSZ薄膜的制备及特性研究 |
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| 引用本文： | 丁铁柱,贾维国.YSZ薄膜的制备及特性研究[J].内蒙古大学学报(自然科学版),1999,30(5):564-567. |
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| 作者姓名： | 丁铁柱 贾维国 |
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| 作者单位： | 内蒙古大学物理学系!内蒙古呼和浩特010021 |
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| 摘 要： | 用真空双源法制备 Ｙｔｔｒｉａｓｔａｂｉｌｉｚｅｄ ｚｉｒｃｏｎｉａ（ Ｙ Ｓ Ｚ）薄膜，研究了 Ｙ Ｓ Ｚ薄膜制备工艺对形貌、特性的影响．实验发现，在 ６００ ℃的条件下进行热处理，可形成超微晶薄膜，且晶粒细密均匀
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| 关 键 词： | YSZ薄膜 超微晶薄膜 表面形貌 |
Preparation and Characters of the YSZ Thin\|film |
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| DING Tie zhu,JIA Wei guo.Preparation and Characters of the YSZ Thin\|film[J].Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Neimongol,1999,30(5):564-567. |
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| Authors: | DING Tie zhu JIA Wei guo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | YSZ films Super micro crystal surface morphologies micrograph |
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