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| MEMS重力仪温度、倾斜和气压扰动影响机制及其抑制方法研究 | |
| 作者姓名： | 高乐 张健 殷笑寒 伍文杰 |
| 作者单位： | 华中科技大学物理学院 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(41874089,41904157)； |
| 摘 要： | 从理论上分析了温度、倾斜、气压效应对微机电系统(MEMS)重力仪的影响机制，以5μGal的零偏稳定性为目标量化环境扰动控制需求，并分别提出三层主动温度控制、机械调平和数据补偿及真空腔封装方案抑制温度、倾斜及气压效应影响.实验结果表明：24 h内重力敏感单元温度波动小于1.6 mK，测温电路漂移0.08 mK，两轴倾斜角度均小于±0.07 mrad，气压波动变化小于0.3 mPa.MEMS重力仪敏感探头集成环境抑制系统后静态本底噪声在1 Hz处为1μGal·Hz-1/2，是国际精度最高的MEMS相对重力仪之一. |
| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS)重力仪 环境效应抑制 流动重力测量 温度效应 倾斜效应 气压效应 |