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化学气相沉积TiN提高模具使用寿命的新途径

作者单位：	北京钢铁学院理化系

摘要：	化学气相沉积法(简称CVD法)。对沉积TiN而言,就是在模具表面上进行化学反应而制得耐磨涂层TiN。
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