| 微机械加速度计的研究 |
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| 引用本文： | 高钟毓,赵长德,张嵘,董景新. 微机械加速度计的研究[J]. 清华大学学报(自然科学版), 1998, 0(11) |
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| 作者姓名： | 高钟毓 赵长德 张嵘 董景新 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系 |
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| 基金项目： | 国防科工委重点预研项目 |
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| 摘 要： | 讨论了一种扭摆式微机械加速度计。介绍了它的敏感元件的结构尺寸、振动模态以及数学模型。阐述了位移检测电路的原理和要求，以及满足这些要求所采用的技术措施。推导了这种加速度计的敏感元件和位移检测电路的灵敏度公式。叙述了敏感元件的体硅溶解薄片法制造工艺。从热噪声和电噪声两方面分析了这种加速度计的精度极限，相对于当地重力加速度应该能达到１０－５。但是，试验样机的初步实验结果表明，目前精度只有１０－２～１０－３，因此，还有巨大潜力。
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| 关 键 词： | 微机械；加速度计；微制造；噪声 |
Study on a micromechanical accelerometer |
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| GAO Zhongyu,ZHAO Changde,ZHANG Rong,DONG Jingxin. Study on a micromechanical accelerometer[J]. Journal of Tsinghua University(Science and Technology), 1998, 0(11) |
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| Authors: | GAO Zhongyu ZHAO Changde ZHANG Rong DONG Jingxin |
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| Affiliation: | GAO Zhongyu,ZHAO Changde,ZHANG Rong,DONG Jingxin Department of Precision Instruments and Mechanology,Tsinghua University,Beijing 100084,China |
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| Abstract: | |
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