气相生长统一模型

从微观输运与化学反应动力学出发，将薄膜气相长生过程划分为五个步骤，基于对步骤的分析，得到了淀积过程的共同规律，建立了气相淀积生长速度的统一模型，代入有关参数少数实验数据即可得到具体的实用模型，文中揭示的薄膜生长规律对于优选工工艺方法和具体工艺参数具有参考意义。