| 多层金刚石薄膜制备工艺和应力分析研究 |
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| 作者姓名： | 王宜豹 邱慧敏 张妹 郭风祥 王韶琰 盖志刚 |
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| 作者单位： | 齐鲁工业大学(山东省科学院)山东省科学院海洋仪器仪表研究所 山东省海洋监测仪器装备技术重点实验室国家海洋监测设备工程技术研究中心,山东 青岛266001;齐鲁工业大学(山东省科学院)山东省科学院海洋仪器仪表研究所 山东省海洋监测仪器装备技术重点实验室国家海洋监测设备工程技术研究中心,山东 青岛266001;齐鲁工业大学(山东省科学院)山东省科学院海洋仪器仪表研究所 山东省海洋监测仪器装备技术重点实验室国家海洋监测设备工程技术研究中心,山东 青岛266001;齐鲁工业大学(山东省科学院)山东省科学院海洋仪器仪表研究所 山东省海洋监测仪器装备技术重点实验室国家海洋监测设备工程技术研究中心,山东 青岛266001;齐鲁工业大学(山东省科学院)山东省科学院海洋仪器仪表研究所 山东省海洋监测仪器装备技术重点实验室国家海洋监测设备工程技术研究中心,山东 青岛266001;齐鲁工业大学(山东省科学院)山东省科学院海洋仪器仪表研究所 山东省海洋监测仪器装备技术重点实验室国家海洋监测设备工程技术研究中心,山东 青岛266001 |
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| 基金项目： | 青岛市民生科技计划(17-3-3-73-nsh);山东省自然科学基金（ZR2017BB037）;山东省科学院青年基金（2018QN0040）;山东省科学院科技发展基金（科基合字（2018）第8号） |
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| 摘 要： | 采用热丝化学气相沉积方法,优化金刚石薄膜制备工艺。通过改变甲烷浓度成功制备出厚度均匀的多层金刚石薄膜,实现了多种调制周期的金刚石薄膜制备,调制周期最小至100 nm。通过拉曼光谱和X射线衍射方法对单层以及多层金刚石薄膜进行应力分析,发现单层结构中,微米金刚石薄膜应力最大,随着金刚石晶粒尺寸的减小,薄膜应力减小;多层金刚石薄膜结构中,微米层与纳米层均匀交替生长,有效地降低了薄膜应力,有利于提高金刚石薄膜在应用中的稳定性。
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| 关 键 词： | 热丝化学气相沉积 多层结构 金刚石薄膜 应力分析 |
| 收稿时间： | 2019-09-03 |
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