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微电子技术研究进展
引用本文：许居衍.微电子技术研究进展[J].大自然探索,1993,12(1):22-27.
作者姓名：许居衍
作者单位：中国华晶电子集团公司 总工程师
摘    要：
关 键 词：微电子技术  进展
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