TiO2—x纳米粒子薄膜型氧敏元件的性能

以钛酸丁酯和无水乙醇分别为前驱体和溶剂，添加适量稳定剂制成稳定溶胶，用浸涂法在Ａｌ２Ｏ３基片上制备ＴｉＯ２薄膜，经在１０００℃氢气氛下还原制得ＴｉＯ２－ｘ薄膜，通过ＳＥＭ照片发现薄膜颗粒在几十纳米左右，颗粒分布均匀，由ＸＲＤ分析，薄膜的ｘ值在０～０．５之间，实验结果表明，ＴｉＯ２－ｘ薄膜在８００℃下具有良好的氧敏感性和响应特性，薄膜在Ｎ２条件下具有很好的电阻－温度特性。