| 凸曲率衬底外延生长界面演化的晶体相场模拟 |
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| 作者姓名： | 黄礼琳 华平 王玉玲 黄创高 高英俊 |
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| 作者单位： | [1]广西大学物理科学与工程技术学院,广西南宁530004; [2]广西大学广西有色金属及特色材料加工重点实验室,广西南宁530004 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（51161003,50661001,50061001）,广西自然科学重点基金（2012GXNSFDA053001）、广西大学广西有色金属及特色材料加工重点实验室开放基金（GXKFJ12-01）和2012年广西大学本科实验技能与科技创新能力训练项目资助. |
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| 摘 要： | 【目的】采用晶体相场模型模拟衬底分别为平面和凸面时外延层的生长过程。【方法】研究晶格错配度较大(ε=0.10)且衬底倾角较小(2~5°)时,系统自由能和外延层总原子数的变化,分析衬底曲率和衬底倾角对系统自由能曲线和总原子数曲线的影响。【结果】研究表明:衬底曲率为平面时,系统自由能随着倾角的增加而增加,外延层总原子数也随着倾角的增加而增加;衬底曲率为凸面时,系统自由能随着倾角的增加而减少,外延层总原子数也随着倾角的增加而减少。【结论】通过微调衬底的倾角能改变系统的自由能和外延层总原子数。
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| 关 键 词： | 异质外延 晶体相场 凸面衬底 原子数 |
| 收稿时间： | 2013-10-10 |
| 修稿时间： | 2013-12-11 |
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