光纤表面等离子体共振传感器Al膜氧化的仿真研究 |
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作者姓名: | 刘超 |
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作者单位: | 东北石油大学电子科学学院,大庆,163318 |
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基金项目: | 国家自然科学基金项目,黑龙江省留学归国科学基金项目,黑龙江省高校青年学术骨干支持项目,黑龙江省教育厅科技项目,国家大学生创新性实验计划项目 |
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摘 要: | 为了研究光纤表面等离子体共振传感器的传感特性,利用TFCalc软件仿真研究光纤表面等离子体共振(SPR)传感器的反射光谱特性。考查了敏感膜为Al膜及被氧化的Al膜对反射光谱特性的影响。仿真结果表明,Al膜的被氧化程度对反射光谱的影响较大,对光纤表面等离子体共振传感器的灵敏度影响也较大。
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关 键 词: | 表面等离子体共振 光纤传感器 敏感膜氧化 |
收稿时间: | 2012-03-16 |
修稿时间: | 2012-03-21 |
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