金属Al诱导Si晶化的Al/Si异质薄膜的原子输运模拟

【目的】从原子层次分析金属Al诱导Si晶化的物理过程与机理。【方法】运用第一性原理计算方法，对Al/Si异质非晶薄膜在热处理过程中Si的晶化过程进行理论计算与模拟。【结果】结果表明，Al/Si异质薄膜在热处理过程中Al、Si原子发生了互扩散现象。随热处理时间的延长，膜层系统进入能量更低较为稳定的状态。Al原子逐步上移，Si原子逐步下移，在结构演变的过程中逐步实现Al/Si异质膜层的翻转。【结论】Al原子引起Si原子之间成键状态的变化，Al原子的库仑屏蔽作用使得Si—Si键的强度减弱，Al原子扩散进入Si层具有能量优势，降低了Si的晶化能垒，有利于Si原子的迁移并结晶。