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| MEMS谐振式加速度计技术发展的研究 | |
| 引用本文： | 魏宏波,高红卫.MEMS谐振式加速度计技术发展的研究[J].宝鸡文理学院学报(自然科学版),2019,39(3). |
| 作者姓名： | 魏宏波 高红卫 |
| 作者单位： | 宝鸡文理学院机械工程学院 ,陕西宝鸡,721016;宝鸡文理学院机械工程学院 ,陕西宝鸡721016;陕西省机器人关键零部件先进制造与评估省市共建重点实验室 ,陕西宝鸡721016 |
| 基金项目： | 陕西省教育厅自然科学研究专项 |
| 摘 要： | 目的深入了解谐振式加速度计研究过程中的关键技术问题,为后续的研究工作和实践应用提供指导。方法通过收集大量资料及数据分析,论述MEMS谐振式加速度计的国内外技术研究现状,归纳并探讨其在研究中所面临的关键技术问题。结果与结论针对MEMS谐振式加速度计的激励与检测电路、工艺误差和封装技术等关键技术,提出了集成化、石英微加工和新材料将是提高MEMS谐振式加速度计性能的必要途径。 |
| 关 键 词： | 谐振式加速度计 MEMS 谐振器 |
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