| 柔性电热镍微夹钳结构设计及加工测试研究 |
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| 引用本文： | 褚金奎,郝秀春,关乐,等.柔性电热镍微夹钳结构设计及加工测试研究[J].大连理工大学学报,2007,47(3):363-367. |
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| 作者姓名： | 褚金奎 郝秀春 关乐 等 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024;大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116024 |
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| 摘 要： | 把柔性机构的设计方法--伪刚体法应用于柔性微夹钳的设计中,得到一种新结构形式的电热微夹钳,用UV-LIGA方法进行加工制作,并进行动态性能测试. 从对称的平面十杆刚性机构得到其伪刚体模型,对伪刚体模型进行优化并柔性化得到放大20倍的柔性微夹钳钳体,通过仿真验证了设计的正确性和可靠性. V形电热驱动器与柔性钳体集成到一起,形成柔性电热微夹钳. 用SU-8胶做电铸铸模,钛和二氧化硅做牺牲层,铜做种子层,在氨基磺酸镍电铸液中进行电铸,加工出最小特征尺寸10 μm,厚度30 μm的电热镍微夹钳. 最后对制作的微夹钳在0～1.5 V直流电压下进行动态测试,夹持端位移最大可达24 μm.
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| 关 键 词： | 柔性机构 伪刚体法 微夹钳 UV-LIGA |
| 文章编号： | 1000-8608（2007）03-0363-05 |
| 修稿时间： | 2005-12-102007-03-10 |
Research on design,fabrication and performance testing of compliant electrothermal nickel microgripper |
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| CHU Jin-kui,HAO Xiu-chun,GUAN Le,et al.Research on design,fabrication and performance testing of compliant electrothermal nickel microgripper[J].Journal of Dalian University of Technology,2007,47(3):363-367. |
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| Authors: | CHU Jin-kui HAO Xiu-chun GUAN Le |
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| Abstract: | Pseudo-rigid-body method which is one of compliant mechanisms design methods was used to design compliant microgripper, and a new electrothermal microgripper was obtained. The electrothermal microgripper was fabricated with UV-LIGA process, as well as sim |
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| Keywords: | compliant mechanisms pseudo-rigid-body method microgripper UV-LIGA |
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