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| 集成电路工艺课程实践教学设计 | |
| 作者姓名： | 蒋苓利 刘欢 于洪宇 |
| 摘 要： | 随着集成电路工艺技术呈现日新月异的发展,集成电路工艺实践的教学需要通过现代化的课程设计、完善的教学内容,全面培养学生在集成电路工艺领域的实践能力.通过对集成电路工艺实验教学的课程目标、课程内容、教学环节、课程考核等多方面讨论,展开对集成电路工艺实践课程的研究与探索.以一个电容器的设计和制造贯穿整个课程,综合运用器件仿真... |
| 关 键 词： | 集成电路 实践教学 工艺 半导体 |
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