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| 超声处理减小SU-8胶层内应力的研究 | |
| 作者姓名： | 杜立群 王启佳 张晓蕾 |
| 作者单位： | 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室;大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:50675025)资助项目 |
| 摘 要： | 目前,SU-8胶层中过大的内应力,已经成为制约SU-8胶结构稳定性和实现更高深宽比的瓶颈问题之一.然而,已有的研究工作都集中在工艺参数的优化和掩模板的设计上,而且无法推广使用.本文旨在利用超声时效技术减小SU-8胶层中的内应力.讨论了利用超声时效技术减小SU-8胶层中内应力的机理.以改进的Stoney公式为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小SU-8胶层中内应力方面的作用.讨论了工作台振幅、输入功率和时效时间等重要参数对超声时效效果的影响,并且对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层中的内应力值.研究结果表明,选择合适的实验参数,超声时效技术可以有效地减小SU-8胶层中的内应力,该技术在非金属应力去除方面具有一定的实用价值. |
| 关 键 词： | 超声时效 SU-8光刻胶 内应力 轮廓法 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |