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MEMS工艺中的静电防护

作者单位：	广东技术师范学院天河学院电气工程系广东广州510610

摘要：	本文论述了MEMS工艺中存在的静电问题,给出了工艺过程中特别是光刻工艺时的静电防护方法,具有一定的实践意义。
关键词：	静电防护 MEMS 光刻
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