| 压电驱动菱形放大式胶体微喷系统的建模与实验 |
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| 作者姓名： | 路士州 周凤岐 任晨亮 刘伟 黄博 |
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| 作者单位： | 山东大学(威海)机电与信息工程学院,山东,威海264209;哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨150001;山东大学(威海)机电与信息工程学院,山东,威海264209;哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（51605261）;博士后科学基金资助项目（2016M592179）;山东省科技发展计划项目（2016GGX103004） |
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| 摘 要： | 为实现微电子封装领域各类胶体的精确微量分配,设计了基于菱形放大机构放大压电致动器位移的微喷系统,利用集总参数法建立了该系统的等效电器模型,通过实验验证了模型和仿真结果的可靠性,分析了系统参数对胶滴体积和脱离效果的影响.实验和仿真表明:撞针位移在0.3~0.5 mm时为有利于喷射胶滴的范围内;针对3 Pa·s黏度的胶体,当驱动气压在0.15~0.32 MPa时,喷射体积与驱动气压成正相关趋势;随着黏度的增大,相同条件下可获取的胶滴体积不断减小,需要的驱动力不断增大;对于特定黏度的胶体,在合适气压范围内,调控分配频率可实现对微喷体积的调节.
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| 关 键 词： | 微喷阀 压电致动 位移放大 集总参数法 电子封装 |
| 收稿时间： | 2016-12-16 |
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