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| MOCVD工艺模拟系统 | |
| 引用本文： | 陈维友,张冶金.MOCVD工艺模拟系统[J].吉林大学自然科学学报,1999(2):72-74. |
| 作者姓名： | 陈维友 张冶金 |
| 作者单位： | 吉林大学电子工程系 |
| 摘 要： | 报道一个ＭＯＣＶＤ全方位综合工艺模拟系统，该系统包含反应室气流流体力学模拟，化学反应热力学模拟和沉积过程动力学模拟等３个子系统，它们可以独立运行，也可以联合运行。 |
| 关 键 词： | MOCVD 工艺模拟系统 半导体 薄膜 沉积过程 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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